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Mikrosystemtechnik

Mikrosystemtechnik

Ulrich Hilleringmann

54,19 €
IVA incluido
Disponible
Editorial:
Springer Nature B.V.
Año de edición:
2006
Materia
Aplicaciones industriales de investigación científica e innovación tecnológica
ISBN:
9783835100039
54,19 €
IVA incluido
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Sobre IBD

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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