LIBROS DEL AUTOR: gunter schumicki

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  • Prozeßtechnologie
    Günter Schumicki / Peter Seegebrecht
    Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von...
    Disponible

    102,09 €